TREK MODEL 645 ±2 KV

Nguồn tạo điện áp khử tĩnh điệnTrek’s Model 645 điều khiển bằng phần mềm cung cấp một loạt các tính năng mang lại lợi ích đáng kể trong khi đáp ứng nhiều ứng dụng đòi hỏi khắt khe. Tài liệu sử dụng cho thấy rằng khách hàng đã thấy hiệu quả và thông lượng tăng lên gấp ba lần so với các nguồn cung cấp khác. Ngoài ra, Model 645 hầu như loại bỏ các vấn đề về wafer dính và wafer phồng bong bóng, do đó đảm bảo kiểm soát tốt hơn sự nhiễm bẩn của hạt. Với tính linh hoạt và hiệu suất của Model 645, nó có thể được sử dụng trong nhiều công cụ / quy trình duy nhất, do đó loại bỏ nhu cầu chỉ định nguồn cung cấp mới cho mỗi công cụ / quy trình duy nhất trong một cơ sở.
Model: 645
Nhà sản xuất: Trek (USA)

TÍNH NĂNG TREK MODEL 645 ±2 KV

Hỗ trợ cả công nghệ Coulombic và Johnsen-Rahbek ESC
Người dùng có thể định cấu hình tùy chỉnh và hình dạng sóng
Tĩnh điện có thể được tạo bởi thiết bị và được lưu trữ thông qua giao diện phần mềm thân thiện với người dùng
Giảm lỗi khí mặt sau, tăng lượng và loại bỏ các tấm xốp dính
Bảng điều khiển phía trước có thể khóa điều chỉnh
Khả năng kiểm soát các thông số như quá dòng
Phát hiện wafer bao gồm không có wafer, wafer có mặt hoặc trạng thái wafer bị dính liền
Bao gồm biên độ / độ lệch có thể điều chỉnh trong quá trình và tính linh hoạt của điều khiển đầu ra
Đầu ra có thể được điều khiển bằng I / O ở mặt sau, lệnh máy tính nối tiếp hoặc điều khiển bảng mặt trước
Chứng chỉ hiệu chuẩn có thể theo dõi NIST được cung cấp cùng với mỗi đơn vị

THÔNG SỐ KỸ THUẬT